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Résistivimètre
de surface pour le contrôles des dépôts métalliques sur tranche de silicium
Le Challenge:
 Créer
un instrument de mesure de résistivité de surface à bas coût permettant
la cartographie d'une tranche de silicium 150mm.
La mesure de la
résistivité de surface d'un matériau conducteur permet en effet d'en
calculer son épaisseur. Il devient ainsi possible de caractériser
l'homogénéité d'un dépôt en couche mince. C'est un paramètre important
dans la fabrication des systèmes sur tranche de silicium.
Le matériel:
- Table motorisée X-Y 150mm
LANG MCL
- Source de courant
AOIP SN8310
- Multimètre
HP3478
- Tête de mesure
Jandel 4 pointes en
lignes pour mesure Kelvin.
- Commande de l'électrovanne
de l'axe Z à partir du port parallèle du PC et de quelques composants
électroniques.
 La
Solution:
Écriture en LabVIEW des drivers RS232
et GPIB des différents instruments. Écriture d'un logiciel intégrant
deux modes:
- Engineering: Scan complet
d'une plaque avec une résolution
variable pour créer une cartographie (photo du haut).
- Production: Mesure sur 5 ou 9 points de la plaque
avec indicateurs statistiques.
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