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Profilomètre
2D pour la caractérisation de surface.
Le Challenge:
 Réaliser
à moindre coût un instrument capable de former des images 3D permettant
de déceler des défauts de surface de l'ordre du micron.
Le matériel:
- Table à déplacement X-Y
pour scan 2D de la surface à mesurer composé d'actionneurs linéaires
Micos VT-80.
- Carte contrôleur d'axe
National
Instruments PCI-7334 et
MID 7604
pour le contrôle de la table X-Y et le contrôle de l'axe Z.
- Une cellule de mesure laser
Keyence LKG et son
contrôleur LKG3001V. La cellule est montée sur l'axe Z pour amener
son faisceau laser dans la zone de mesure.
- Une carte
NI
PCI-6515 pour l'interfaçage direct du bus binaire du contrôleur LKG
avec le système.
La solution:
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Une cible PC temps réel intégrant la carte contrôleur de moteur pas à
pas et la carte PCI-6515 fonctionnant sous
LabVIEW
real time afin de synchroniser parfaitement le déplacement et la
mesure laser à pleine vitesse de déplacement.
- Caractérisation de la
surface avec une résolution en Z de 20 nm et une résolution en X-Y de
quelques micromètres.
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